【台中班】透明導電氧化物薄膜製作與應用、節能種子專家研習營、壓電複材製作應用
- 最後更新:
- 2009-03-17 01:25:07
- 活動時間:
- 2009-03-17 ~ 2009-03-24
- 活動地點:
- (台中) 台中世貿中心 2樓訓練教室(台中市407西屯區天保街60號)
- 報名時間:
- 2009-03-17 ~ 2009-03-23
- 活動費用:
- 新台幣3,000元/位;同單位2人以上(含)報名享優惠價2,500元/人;開課七日前(3/17前)報名~享優惠價2,500元/人
活動介紹
透明導電薄膜為具有導電載子的高能隙氧化物材料,透過晶格中的結晶缺陷產生自由移動的電子或電洞,製成厚度小於可見光波長的薄膜。材料的成份與製程方式影響薄膜的透明度與導電性甚巨,因此可以製作導電度變化範圍大的薄膜,作為導體與半導體的產品運用。常使用的透明導電膜以氧化錫銦(ITO)為代表,雖然有高的導電性,銦原料的高成本,導致透明導電膜的價格無法降低,替代ITO的氧化物材料以氧化錫與氧化鋅為代表,由於此類的氧化物均需透過異質離子的滲雜(doping)才能有較高的導電性,不利於大面積均勻成膜製作。非晶質導電氧化物材料雖然容易製得均勻的導電與透明性,成份上不易排除銦或鎵等貴重原料,不利於成本的降低。如何獲得成本低與製程穩定性高的透明導電膜,一直是商品化技術的重點。
透明導電膜為光電元件中不可或缺的材料,其應用主要作為元件的電極,如冷光板、電變色、觸控面板、太陽電池、液晶顯示器等,隨這類產品市場的急遽擴張,透明導電膜的需求量正急遽增加,已成為新興產業投資的方向。除導電性外,控制氧化物材料中的導電載子濃度與遷移率等,使材料具有半導體的特性,可作為薄膜電晶體、感測器、電熱器等產品,配合導電載子的形態,氧化物半導體可製成p- n型介面,作為低價化光伏電池的材料,使氧化物導電膜的產品運用更寬廣。
本研討會將由透明導電的機理為起點,介紹透明導電的氧化物材料與現有的製程方法,再由透明導電膜的各種用途,闡述導電氧化物的廣泛運用,並以低成本化與新應用產品作結論,使參與人員具有透明導電膜的知識全貌,作為後續投入與商品化導電性氧化物薄膜的基礎。